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    자동화 슬롯 다이 코터

    자동화 슬롯 다이 코터

    - 코팅 갭 자동 조절 장치
    - 슬롯 다이 헤드 기울기 조절 장치
    - 자동 코팅 시작 기능
    - 코팅 defects 검출 기능 (Neck-in, Streaks)
    - 슬롯 다이 헤드 자동 cleaning 장치
    - 고가 용액 recycling 장치

    본문

    Full Auto Slot-Die Coating system

    dm_1.jpg
    [구성품]
    1. Cassette
    2. Wafer transfer robot (WTR)
    - v/c or gripper
    3. UVW stage
    4. Vision alignment
    5. Lift pin up/down
    6. Table slot-die coater
    - Automatic coating gap control
    - Automatic coating start function
    - Coating defect detection function